张文燕@上海上海微技术工业研究院(SITRI)2内容MEMS测试技术MEMS分析技术SITRI测试分析平台介绍量产阶段最大化吞吐量和降低成本.
由于一般MEMS产品的成品率比IC产品要低很多,晶圆级测试可以极大地降低MEMS量产产品的封装成本.
封装后进行成品测试,筛选不良产品,确保上市产品性能良好.
3MEMS测试产品R&D阶段验证器件可以工作和可以生产.
在这一阶段,采用晶圆级测试可以获得早期器件特征,降低开发时间和成本.
产品试量产阶段验证器件以较高成品率量产的能力,开发出可量产的设备方案以及用于量产的测试方案.
通过采用晶圆级测试可以降低开发时间和成本.
概念研发中试生产封装终测市场成品测试晶圆测试4MEMS测试与ASIC测试的异同MEMS测试:电学测试+非电学测试输入电性ASIC输出电性测试环境:温度电磁屏蔽输入电性/非电性MEMS测试环境:温度电磁屏蔽气体振动压力湿度光源输出电性/非电性晶圆测试和成品测试均涉及非电性的输入输出,且需要有特定的测试环境5劢态晶圆测试方法DriveorForce(Volts)(TimeUnits)SenseorMeasure(TimeUnits)f=1/tSlope=DampingRatio,ZetaandQ(DeviceInput)(DeviceOutput)什么是动态晶圆测试通过静电输入驱动,检测或测量MEMS元件,从而确定它的动态力学行为(如固有频率、阻尼系数、品质因素、正交误差、迟滞等)原理:静电力驱动ProofMass和轴极板间的电压差产生静电力,静电力推动Proofmass做运动,当信号到达产品的共振频率点时,机械产生最高振幅.
微信号通过放大电路及滤波电路采集后做分析.
此方法适用于电容式传感器劢态晶圆测试流程LeakageTestInputResponseRangeofMotionCapacitanceTestFlowExampleforGyroOutputLeakageCurrentsResonantFrequencyQ,DampingRatio;OutputSpringConstant;SnapVoltage,Hysteresis;More.
.
.
OutputOutputTestOutputCVCurvesSolidusDocument#110072-E17MEMS晶圆测试难点及解决方案CP测量技术难点:微结构的信号十分微弱,信号经常被噪声淹没,极易受到干扰解决方案:1.
对于探针卡材质,选取低漏电,低寄身电容的材质2.
采取动静态分开测试,静态参数测试需检测所有端口,探针较多,但不易受干扰,可以使用独立探针卡;而动态测试易受探针间干扰,只需连接驱动,检测轴等几个端口,减少探针数量.
收到10gbiz发来的7月份优惠方案,中国香港、美国洛杉矶机房VPS主机4折优惠码,优惠后洛杉矶VPS月付2.36美元起,香港VPS月付2.75美元起。这是一家2020年成立的主机商,提供的产品包括独立服务器租用和VPS主机等,数据中心在美国洛杉矶、圣何塞和中国香港。商家VPS主机基于KVM架构,支持使用PayPal或者支付宝付款。洛杉矶VPS架构CPU内存硬盘带宽系统价格单核512MB10GB1...
恒创科技也有暑期的活动,其中香港服务器也有一定折扣,当然是针对新用户的,如果我们还没有注册过或者可以有办法注册到新用户的,可以买他们家的香港服务器活动价格,2M带宽香港云服务器317元。对于一般用途还是够用的。 活动链接:恒创暑期活动爆款活动均是针对新用户的。1、云服务器仅限首次购买恒创科技产品的新用户。1 核 1G 实例规格,单个账户限购 1台;其他活动机型,单个账户限购 3 台(必须在一个订单...
全球领先的IDC服务商华纳云“美国服务器”正式发售啦~~~~此次上线的美国服务器包含美国云服务器、美国服务器、美国高防服务器以及美国高防云服务器。针对此次美国服务器新品上线,华纳云也推出了史无前例的超低活动力度。美国云服务器低至3折,1核1G5M低至24元/月,20G DDos防御的美国服务器低至688元/月,年付再送2个月,两年送4个月,三年送6个月,且永久续费同价,更多款高性价比配置供您选择。...