洁净区尘埃粒子检测 1 测定标准
洁净度级别 |
静态(PC/m3) |
动态(PC/m3) |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
|
A级 |
3 520 |
20 |
3 520 |
20 |
B级 |
3 520 |
29 |
352 000 |
2 900 |
C级 |
352 000 |
2 900 |
3 520 000 |
29 000 |
D级 |
3 520 000 |
29 000 |
不作规定 |
不作规定 |
2
测试方法
2.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
2.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
2.3 采样管必须干净、严禁渗漏。
2.4 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。
2.5 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
2.6 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。
2.7
室内的测定人员必须穿洁净工作服,且不宜超过2名,并应远离或位于采样点的下风侧,动作要轻,尽可能保持静止。
3 测试规则
3.1 测试条件
3.1.1 温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。
3.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。
3.2 测试状态:有静态测试和动态测试。
3.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。
尘埃粒子数必须符合规定。
3.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,应定期监控动态条件下的洁净状况。
3.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。
3.3 测试时间
3.3.1 对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于10分钟后开始或宜在生产操作人员撤离现场并经10分钟自净后开始;对于非单向流,测试应在净化空调调节系统运行时间不少于30分钟后开始或生产操作人员撤离现场并经过20分钟自净后开始。
3.3.2 在动态测试时,则需记录生产开始的时间及测试时间。
3.4 尘埃粒子计数
3.4.1 采样点数目及其布置
3.4.1.1 在静态时,采样点布置要力求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。
3.4.1.2 在动态时,采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。
3.4.1.3 采样点一般在离地面0.8米高度的位置上均匀布置;采样点多于5点时,也可在离地面0.8-1.5米高度的区域内分层布置,但每层不少于5点。
3.4.2 采样次数的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。
每个采样点采样次数可以多于1次,且不同采样点的采样次数可以不同。
最少采样点数目
面积m2 |
洁净度级别 |
|||
100 |
10 000 |
100 000 |
3 000 000 |
|
<10 ≥10~<20 ≥20~<40 ≥40~<100 ≥100~<200 ≥200~<400 ≥400~<1000 ≥1000~<2000 ≥2000 |
2~3 4 8 16 40 80 160 400 800 |
2 2 2 4 10 20 40 100 200 |
2 2 2 2 3 6 13 32 63 |
2 2 2 2 3 6 13 32 63 |
注:表中的面积,对于单向流洁净室,是指送风面积,对于非单向流洁净室,是指房间面积。 |
最小采样量
洁净度级别 |
采样量,升/次 |
|
≥0.5μm |
≥5μm |
|
100 10000 100000 300000 |
5.66 2.83 2.83 2.83 |
8.5 8.5 8.5 8.5 |
3.4.4 采样注意事项
3.4.4.1 在确认洁净室(区)送风和压差达到要求后,方可进行采样。
3.4.4.2 对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样口宜向上。
3.4.4.3 布置采样点时,应避开回风口。
3.4.4.4 采样时,测试人员应在采样口的下风侧。
4 结果计算
4.1 采样点的平均粒子浓度
式中 A——某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;
Ci——某一采样点的粒子浓度(i=1,2,---,N),粒/m3;
N——某一采样点上的采样次数,次。
4.2 平均值的均值
式中 M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒/m3;
Ai——某一采样点的平均粒子浓度(i=1,2,---,L),粒/m3;
L——某一洁净室(区)内的总采样点数,个。
4.3 标准误差
式中 SE——平均值的标准误差,粒/m3。
4.4 置信上限
式中 UCL——平均值均值的95%置信上限,粒/m3;
t——95%置信上限的t分布系数。
95%置信上限的t分布系数
采样数L |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
>9 |
t |
6.31 |
2.92 |
2.35 |
2.13 |
2.02 |
1.94 |
1.90 |
1.86 |
- |
注:当采样点多于9点时,不需要计算UCL。
5 结果评定
5.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限。
5.2 全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限。
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