ICSZ中华人民共和国国家标准电子工业污染物排放标准半导体器件Dischargestandardsforelectricalindustrialpollutantsfromsemiconductorindustry(征求意见稿)GB—200200--发布200--实施环境保护部国家质量监督检验检疫总局发布六:GB—200I目次前言II1适用范围32规范性引用文件33术语和定义44污染物排放控制要求55污染物监测要求96标准实施与监督11附录A(规范性附录)VOCs废气治理设备运行工艺参数测试要求12附录B(规范性附录)半导体企业记录保存要求.
13附录C(规范性附录)废气中硫酸雾的测定.
15附录D(规范性附录)固体吸附-热脱附气相色谱-质谱法22附录E(规范性附录)用采样罐采样气相色谱-质谱法.
31附录F(规范性附录)大气中丙酮测定方法气相色谱法38GB—200II前言为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国大气污染防治法》,《国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定》等法律、法规和《国务院关于编制全国主体功能区规划的意见》,保护环境,防治污染,加强对电子工业半导体器件生产企业废水、废气排放的控制和管理,制定本标准.
本标准根据电子工业半导体器件生产工艺及治理技术特点,规定了电子工业半导体器件生产过程中水和大气污染物的排放限值、监测和监控要求.
为促进地区经济与环境协调发展,推动经济结构的调整和经济增长方式的转变,引导电子工业半导体器件生产工艺和污染治理技术的发展方向,本标准规定了水污染物特别排放限值.
电子工业半导体器件生产企业排放恶臭污染物、环境噪声适用相应的国家污染物排放标准,产生固体废物的鉴别、处理和处置适用国家固体废物污染控制标准.
本标准为首次发布.
自本标准实施之日起,电子工业半导体器件生产企业的水和大气污染物排放控制按本标准的规定执行,不再执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)和《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996).
本标准附录A~附录F均为规范性附录.
按照有关法律规定,本标准具有强制执行的效力.
本标准由环境保护部科技标准司组织制订.
本标准主要起草单位:上海市环境科学研究院、信息产业电子第十一设计研究院有限公司、中国电子工程设计院.
本标准环境保护部200年月日批准.
本标准自200年月日实施.
本标准由环境保护部解释.
GB—2003电子工业污染物排放标准半导体器件1适用范围本标准规定了电子工业半导体器件生产企业和拥有半导体器件生产设施的企业水和大气污染物的排放限值、监测和监控要求,以及标准的实施与监督等相关规定.
本标准适用于现有电子工业半导体器件生产企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理.
本标准适用于对电子工业半导体器件生产企业建设项目的环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的水、大气污染物排放管理.
本标准适用于法律允许的污染物排放行为.
新设立污染源的选址和特殊保护区域内现有污染源的管理,按照《中华人民共和国大气污染防治法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国环境影响评价法》等法律、法规、规章的相关规定执行.
本标准规定的水污染物排放控制要求适用于企业向环境水体的排放行为.
企业向设置污水处理厂的城镇排水系统排放废水时,有毒污染物总铬、六价铬、总镍、总镉、总银、总铅,在本标准规定的监控位置执行相应的排放限值;其他污染物的排放控制要求由企业与城镇污水处理厂根据其污水处理能力商定或执行相关标准,并报当地环境保护主管部门备案;城镇污水处理厂应保证水污染物排放达到相关排放标准要求.
建设项目拟向设置污水处理厂的城镇排水系统排放水污染物时,由建设单位和城镇污水处理厂按前款规定执行.
2规范性引用文件本标准内容引用了下列文件中的条款.
凡是不注日期的引用文件,其有效版本适用于本标准.
GB/T6920-1986水质pH值的测定玻璃电极法GB/T7466-1987水质总铬的测定GB/T7467-1987水质六价铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7474-1987水质铜的测定二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法GB/T7475-1987水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法GB/T7478-1987水质铵的测定蒸馏和滴定法GB/T7479-1987水质铵的测定纳氏试剂比色法GB/T7484-1987水质氟化物的测定离子选择电极法GB/T7485-1987水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T7486-1987水质氰化物的测定第一部分总氰化物的测定GB/T7488-1987水质五日生化需氧量(BOD5)的测定稀释与接种法GB/T11893-1989水质总磷的测定钼酸铵分光光度法GB—2004GB/T11894-1994水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法GB/T11901-1989水质悬浮物的测定重量法GB/T11907-1989水质银的测定火焰原子吸收分光光度法GB/T11912-1989水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法GB/T11914-1989水质化学需氧量的测定重铬酸钾法GB/T14677-1993空气质量甲苯、二甲苯、苯乙烯的测定气相色谱法GB/T16157-1996固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法GB/T16489-1996水质硫化物的测定亚甲基蓝分光光度法GB/T19910-1989水质镍的测定丁二酮肟分光光度法HJ/T27-1999固定污染源排气中氯化氢的测定硫氰酸汞分光光度法HJ/T28-1999固定污染源排气中氰化氢的测定异烟酸-吡唑啉酮分光光度法HJ/T38-1999固定污染源排气中非甲烷总烃的测定气相色谱法HJ/T60-2000水质硫化物的测定碘量法HJ/T67-2001固定污染源排气氟化物的测定离子选择电极法HJ/T71-2001水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法HJ/T86-2002水质生化需氧量(BOD)的测定微生物传感器快速测定法HJ/T199-2005水质总氮的测定气相分子吸收光谱法《污染源自动监控管理办法》(国家环境保护总局令第28号)《环境监测管理办法》(国家环境保护总局令第39号)3术语和定义下列术语和定义适用于本标准.
3.
1半导体器件以半导体材料为基础生产的半导体分立器件和集成电路产品.
3.
2现有企业本标准实施之日前,已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的电子工业半导体器件生产企业或生产设施.
3.
3新建企业本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建、扩建电子工业半导体器件建设项目.
3.
4挥发性有机物(VOCs)指温度为293.
15K、蒸汽压大于或等于0.
01KPa时,可挥发性有机化合物的总称,但不包括甲烷.
3.
5标准状态GB—2005指温度为273.
15K、压力为101325Pa时的状态.
本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标准状态下的干气体为基准.
3.
6废气污染治理设备指处理废气的湿式洗涤塔、焚烧塔、吸收塔、冷凝塔或其他设备,但不包括工艺中设备自带的预处理设备.
3.
7排水量指生产设施或企业排放到企业法定边界外的废水量,包括与生产有直接或间接关系的各种外排废水(含厂区生活污水、冷却废水、厂区锅炉和电站废水等).
3.
8单位产品基准排水量指用于核定水污染物排放浓度而规定的生产单位半导体器件的废水排放量上限值.
4污染物排放控制要求4.
1水污染物排放控制要求4.
1.
1现有企业自2009年2月1日起至2010年9月30日执行表1规定的水污染物排放限值.
4.
1.
2现有企业自2010年10月1日起执行表2规定的水污染物排放限值.
4.
1.
3新建设施自2008年10月1日起执行表2规定的水污染物排放限值.
表1现有企业水污染物排放浓度限值单位为mg/L(pH除外)序号污染物项目排放限值污染物排放监控位置1pH6~9企业废水总排放口2悬浮物80企业废水总排放口3生化需氧量(BOD5)30企业废水总排放口4化学需氧量(CODCr)100企业废水总排放口5总氰化物0.
2企业废水总排放口6硫化物1.
0企业废水总排放口7氨氮15企业废水总排放口8总氮20企业废水总排放口9总磷0.
5企业废水总排放口10氟化物10企业废水总排放口11总铜0.
5企业废水总排放口12总镉0.
1车间或生产装置排放口13总铬0.
5车间或生产装置排放口14六价铬0.
1车间或生产装置排放口0.
215总砷0.
31)车间或生产装置排放口16总铅0.
5车间或生产装置排放口GB—2006序号污染物项目排放限值污染物排放监控位置17总镍0.
5车间或生产装置排放口18总银0.
1车间或生产装置排放口40012烷基苯和脂肪烃TenaxTA沸点100℃~400℃n-C7-n-C2635035除苯之外的芳烃、非极性组分(沸点>100℃)和低挥发性极性组分(沸点>150℃)TenaxGR沸点100℃~450℃n-C7-n-C3035035烷基苯、挥发性PAH、PCB以及TenaxTA所分析的化合物GB—20030CarbotrapCarbopackBAnsorbGCB1(n-C4)n-C5-n-C14>400100宽范围的VOCs、酮、醇、醛(沸点>75℃)在挥发范围之内的所有非极性化合物和全氟碳化合物Chromosorbs102沸点50℃~200℃250350适用于宽范围的VOCs含氧化合物及挥发性低于二氧甲烷的卤代烃Chromosorbs106沸点50℃~200℃250750适用于宽范围的VOCs,挥发性含氧化合物及烷烃PorapakQ沸点50℃~200℃n-C5-n-C12250550适用于宽范围的VOCs及含氧化合物PorapakN沸点50℃~150℃n-C5-n-C8180300适用于吡啶、甲醇及部分挥发腈如丙烯腈、乙腈、丙腈等.
CarbosieveSIII*沸点-60℃~80℃400800适用于非常易挥发的烷烃、卤代烃和氟利昂Carboxen1000*AnasorbCMS*Zeolite沸点-60℃~80℃350尤其适用于1,2-丁二烯和一氧化二氮*这些化合物对水有吸附,当采样时的湿度大于90%时,安全采样体积应减少10倍.
**CarbotrapC、CarbopackC、Carbotrap、CarbopackB、Carboxen1000、CarbosieveSIII为Supelco公司产品,Tenax为Enka研究所的产品,Chromosorb为Manville公司的产品,Ansorb为SKC公司产品,Porapak为Waters公司产品.
GB—20031附录E(规范性附录)用采样罐采样气相色谱-质谱法E.
1方法原理用经特殊处理的不锈钢罐采集空气样品,然后进行样品预浓缩和除去惰性气体后,用气相色谱分离和用质谱或多检测器技术测定环境空气中的挥发性有机物(VOCs).
E.
2干扰及消除采样时,如果采样罐、流量控制阀和采样泵等事先未被清洁好,将会污染样品,清罐的步骤与注意事项将在E.
6.
1中专门介绍.
如果样品湿度太大,会影响分析结果,应采取适当方法.
用Nafion渗透膜除去样品中的水分,但采用Nafion渗透膜除去样品中的水汽时,某些极性有机化合物可能与水分共存损失掉.
E.
3方法的适用范围适用于空气中VOCs与SVOCs的测定.
E.
4仪器OV-1毛细管柱(0.
32mm*50m);预冷冻浓缩系统(预增浓仪Entech7100);真空系统(具压力表);空气VOC自动进样系统(Entech7016);计算机系统;SUMMA罐(Canister);电子质量流量控制阀;47mmTeflon颗粒物过滤器;采样用真空泵.
E.
5试剂和材料氢气、氮气、氦气超高纯钢瓶气(99.
9999%)和超高纯的零空气.
气体标准物质:气瓶中包括体积分数近10ppm的以下化合物:氯乙烯、二氯乙烯、1,1,2-三氯-1,2,2-二氯乙烷、三氯甲烷、1,2-二氯乙烷、苯、甲苯、氟利昂12、一氯甲烷、1,2-二氯-1,1,2,2-四氟乙烷、一溴甲烷、一氯乙烷、氟利昂11、二氯甲烷、1,1-二氯乙烷、顺-1,2-二氯乙烯、1,2-GB—20032二氯丙烷、1,1,2-三氯乙烷、1,2-二溴乙烷、四氯乙烯、氯苯、苄基氯、六氯-1,3-丁二烯、三氯乙烷、四氯化碳、三氯乙烯、顺-1,3-二氯丙稀、反-1,3-二氯丙稀、乙苯、邻二甲苯、间二甲苯、对二甲苯、苯乙烯、1,1,2,2-四氯乙烷、1,3,5-三甲基苯、1,2,4-三甲基苯、间二氯苯、邻二氯苯、对二氯苯、1,2,4-三氯苯.
液氮(-183.
0℃,沸点).
正己烷或甲醇-清洗采样系统部件.
2,4-溴氟苯(BFB),用于GC-MS调谐.
E.
6采样E.
6.
1清罐将SUMMA罐通过阀门安装在真空系统中,编好真空系统操作程序(一般为六个循环,分别包括低真空、高真空、充气三个部分),打开超纯氦气钢瓶阀以及SUMMA罐阀门,启动操作程序.
完成后,即可用来采样.
E.
6.
2采样预先清洁好采样罐并抽好真空(至266Pa以下),如果进行流量控制或加压采样时,应先安装好电子流速控制阀并连接好加压泵,打开罐阀和真空/压力计阀,控制流量采样.
采样完后,关好罐阀和真空/压力计阀,并记录有关的采样数据.
将采样罐贴上标签,记录有关采样罐序列号、采样地点和日期等,带回实验室进行分析.
E.
7步骤E.
7.
1样品的预处理条件样品的富集方法有两种,一种为低温采样,即采样管填充20目-40目玻璃珠,将采样管放在液氮中捕集样品,另一种为常温采样,采样管中填充一些吸附剂.
以下分别列出两种采样方法的实验条件.
a)样品的采集条件:低温捕集吸附剂捕集捕集温度:-150℃捕集温度:27℃样品体积:~100ml样品体积:~1000mlGB—20033b)样品的脱附条件:低温捕集吸附剂捕集脱附温度:-120℃脱附温度:可变脱附流速:~3ml/min氦气脱附流速:~3ml/min氦气脱附时间:<60s脱附时间:<60sc)捕集后恢复采样条件低温捕集吸附剂捕集初始使用烘烤条件:12024h℃初始使用烘烤条件:根据吸附剂确定每一次进样后:1205min℃每一次进样后:在烘烤条件下保持5minE.
7.
2仪器条件仪器条件见表E.
1.
表E.
1一般GC和MS的操作条件色谱柱HPOV-1交联甲基硅烷柱(50m*0.
32mm*1.
0μm)或其等效柱载气氦气(2.
0cm3/min,温度250℃)进样体积恒定(1μl-3μl)气相色谱进样方式不分流进样初始柱温-50℃初始柱温保持时间2min程序升温8℃/min到200℃温度程序最终温度保持时间15min(色谱条件必须使苯和四氯化碳达到基线分离)质量范围35amu-300amu扫描时间1s/scanEI条件70eV质谱质谱扫描按仪器操作手册选择质谱选择检测器(MS)和选择离子监测(SIM)方式E.
7.
3仪器校准质谱部分用调谐校准,整个系统须符合质量保证部分所要求的各项指标.
E.
7.
4采样罐处理GB—20034如果采样罐中的压力小于83kPa(<12psig)时,必须用零氮气加压至137kPa(20psig)以保证有足够的样品进行分析.
如果增加罐压,稀释因子按式E.
1计算:aaXYDF/E.
1)式中:Xa——稀释前的罐压;Ya——稀释后的罐压.
在样品分析完成后,被测得的VOCs浓度须乘以稀释因子得到样品空气中的测定浓度.
E.
7.
5GC-MS扫描分析首先编好GC-MS分析仪器与预冷冻浓缩系统的操作程序,打开标准气体罐和内标气体罐,启动操作程序,做标准曲线.
然后,将各盛有样品的SUMMA采样罐置于自动进样器上并连接好,打开阀门,与做标准曲线的相同方法进行实验.
E.
7.
6定性及定量分析定性方法:谱库检索和保留时间.
定量方法:先把各种物质的标准曲线回归方程计算出来,然后用质谱的定量软件进行定量.
校准曲线使用5个点,各点的浓度(体积分数)分别为1ppb,2ppb,5ppb,10ppb和25ppb.
5个点相对校正因子的相对校准偏差≤30%,其中有两个化合物可以≤40%.
E.
8质量保证和质量控制E.
8.
1采样系统采用经被校准的流速控制器(或阀)采样;经过一个湿的零空气校准程序保证所有SUMMA罐内的含有目标VOCs的浓度(体积分数)小于0.
2ppb;所有现场采样的SUMMA罐经过一个初始的标气校准,其回收率应大于90%.
E.
8.
2GC-MS系统在进行样品分析之前,保证GC-MS系统是清洁的,方法是经过一个湿润的零空气校准,保证其系统中的目标VOCs的检出浓度(体积分数)小于0.
2ppb;GC-MS系统需每天用4-溴氟苯(BFB)调谐,使目标离子及其离子丰度符合分析要求,见表E.
2.
E.
8.
3每天用一个中间浓度对定量曲线进行校正,当曲线对中间浓度的相对偏差≤15%时,可以进行样品的测定.
GB—20035表E.
24-溴氟苯关键离子及其丰度标准质量数离子丰度50质量数95丰度的15%~40%75质量数95丰度的30%~60%95基峰,相对丰度100%96质量数95丰度的5%~9%173小于质量数174丰度的2%174大于质量数95丰度的50%175质量数174丰度的5%~9%176质量数174丰度的95%~101%177质量数176丰度的5%~9%表E.
3城市空气毒物标准气体测定结果化学文摘号英文名称化合物MWppb回收率MDL(ppb)00075-71-8Dichlorodifluoromethane二氯二氟甲烷119.
939.
4692.
70%0.
0600074-87-3Chloromethane一氯甲烷49.
999.
5493.
50%0.
0600076-14-21,2-Dichlorotetrafluoroethane1,2-二氯四氟乙烷49.
999.
5493.
50%0.
0600075-01-4Chloroethene氯乙烯61.
999.
6294.
30%0.
0600074-87-3Bromomethane一溴甲烷93.
948.
7685.
90%0.
0600075-00-3Chloroethane氯乙烷64.
018.
482.
30%0.
0600067-64-1Acetone丙酮58.
088.
4582.
90%0.
0600075-69-4Trichlorofluoromethane三氟一氟甲烷135.
99.
3992.
10%0.
0600107-13-1Acrylonitrile丙烯腈53.
0315.
0297.
00%0.
0600075-35-41,1-Dichloroethene1,1-二氯乙烯95.
958.
9586.
00%0.
0600075-09-2MethyleneChloride二氯甲烷84.
938.
8585.
10%0.
0600075-15-0Carbondisulfide二硫化碳76.
18.
5285.
20%0.
0600107-05-13-Chloro-1-propene(Allylhloride)3-氯-1-丙烯76.
019.
897.
00%0.
0600076-13-11,1,2-Trichloro-1,2,2-trifluorOethane1,1,2-三氯-1,2,2-三氟乙烷185.
99.
0687.
10%0.
0600156-60-5Trans-1,2-dichloroethene反-1,2-二氯乙烯95.
9588186.
30%0.
0600075-34-31,1-Dichloroethane1,1-二氯乙烷98.
969.
0286.
70%0.
0601634-04-4MTBE甲基叔丁基醚88.
158.
9386.
70%0.
06GB—20036化学文摘号英文名称化合物MWppb回收率MDL(ppb)00078-93-32-Butanone(MEK)2-丁酮72.
149.
3291.
40%0.
0600156-59-2Cis-1,2-Dichloroethene顺-1,2-二氯乙烯95.
958.
8284.
80%0.
0600067-66-3Chloroform三氯甲烷119.
399.
288.
40%0.
0600762-75-4Tert-Butylformate叔丁基甲酸酯102.
139.
0295.
80%0.
0600107-06-21,2-Dichloroethane1,2-二氯乙烷98.
968.
9486.
00%0.
0600071-55-61,1,1-Trichloroethane1,1,1-三氯乙烷133.
429.
2488.
90%0.
0600071-43-2Benzene苯78.
118.
8684.
40%0.
0600056-23-5Carbonetrachloride四氯化碳153.
839.
7292.
60%0.
060094-05-8TAME102.
187.
5298.
00%0.
0600078-87-51,2-Dichloropropane1,2-二氯丙烷1138.
6983.
60%0.
0600075-27-4Bromodichloromethane一溴二氯甲烷163.
838.
886.
30%0.
0600079-01-6Trichloroethene三氯乙烯131.
48.
7484.
90%0.
0600080-62-6Methylethacrylate异丁烯酸甲酯100.
057.
8882.
70%0.
0610061-01-5cis-1,3-Dichloropropene顺-1,3-二氯丙烯109.
978.
7883.
60%0.
0600108-10-1MIBK甲基异丁基酮100.
168.
5784.
00%0.
0610061-12-6Trans-1,3-Dichlororopence反-1,3-二氯丙稀109.
978.
4480.
30%0.
0600079-00-51,1,2-Trichloroethane1,1,2-三氯乙烷131.
938.
681.
90%0.
0600108-88-3Toluene甲苯92.
138.
6883.
50%0.
0600124-48-1Dibromochloromethane二溴一氯甲烷208.
298.
9788.
00%0.
0600106-93-41,2-Dibromoethane1,2-二溴乙烷185.
879.
6583.
20%0.
0600127-18-4Tetrachloroethene四氯乙烯165.
858.
7383.
90%0.
0600108-90-7Chlorobenzene氯苯112.
68.
5282.
00%0.
0600100-41-4Ethylbenzene乙基苯106.
169.
0887.
30%0.
0600108-38-3M,p-Xylenem,p-二甲苯106.
1619.
2792.
60%0.
0600075-25-2Bromoform三溴甲烷252.
759.
8494.
60%0.
0600100-42-5Styrene苯乙烯104.
18.
4180.
90%0.
0600095-47-6o-Xylene邻二甲苯106.
168.
8785.
20%0.
0600079-34-51,1,2,2-Tetrachloro-ethane1,1,2,2,-四氯乙烷165.
899.
6392.
60%0.
06GB—20037化学文摘号英文名称化合物MWppb回收率MDL(ppb)00622-96-81-Ethy-4-methyl-benzene1-乙基-4-甲基苯120.
098.
5984.
20%0.
0600108-67-81,3,5-trimethyl-benzene1,3,5-三甲基苯120.
0910.
1297.
30%0.
0600095-63-61,2,4-Trimethyl-benzene1,2,4-三甲基苯120.
099.
1387.
70%0.
0600100-44-7Chloromethylbenzene一氯甲基苯126.
028.
484.
00%0.
0600541-73-11,3-Dichloro-benzene1,3-二氯苯145.
978.
6983.
50%0.
0600106-46-71,4-Dichloro-benzene1,4-二氯苯145.
978.
9586.
10%0.
0600095-50-11,2-Dichloro-benzene1,2-二氯苯145.
9710.
74103%0.
0600120-82-11,2,4-Trichloro-benzene1,2,4-三氯苯179.
9312.
33118%0.
0600087-68-3Hexachloro-1,3-butadiene六氯-1,3-丁二烯257.
8113.
01125%0.
0600106-99-01,3-Butadiene1,3-丁二烯54.
099.
4791.
00%0.
06表E.
4替代品的回收率(SurrogateRecovery)化学文摘号英文名称化合物MWppb回收率MDL(ppb)00865-53-7Dibromofluoromethane(S1)二溴氟甲烷(S1)9018.
31103%0.
0617060-07-01,2-dichloroethane-d4(S2)1,2-二氯乙烷-d4(S2)102.
9933.
64102%0.
0602037-26-5Toluene-d8(S3)甲苯(S3)100.
2133.
1497.
80%0.
0603855-82-11,4-dichlorobenzene-d4(S4)1,4-二氯苯-d4(S4)151.
0423.
16102%0.
06GB—20038附录F(规范性附录)大气中丙酮测定方法气相色谱法(一)聚乙二醇6000柱(直接进样)F1.
1原理用大玻璃注射器采集空气中丙酮、丁酮直接进样,经聚乙二醇6000柱分离后,用氢焰离子化检测器检测,以保留时间定性,峰高定量.
F1.
2仪器(1)注射器,100ml,1ml.
(2)微量注射器,10,1μl.
(3)气相色谱仪,氢焰离子化检测器.
1ng丙酮、丁酮给出的信噪比不低于31∶.
色谱柱:柱长2m,内径4mm不锈钢柱.
聚乙二醇60006201∶红色担体=5100∶柱温:90℃汽化室温度:150℃检测室温度:150℃载气(氮气):50ml/minF1.
3试剂(1)丙酮,色谱纯.
(2)丁酮,色谱纯.
(3)聚乙二醇6000,色谱固定液.
(4)6201红色担体,60目~80目.
F1.
4采样取100ml大玻璃注射器,在采样地点用现场空气抽洗3次,然后抽取100ml空气,将注射器套上塑料帽并垂直放置,当天分析.
F1.
5分析步骤GB—20039(1)对照试验:将100ml注射器取下塑料帽,抽取100ml清洁空气,与样品同时分析,作为对照.
(2)样品处理:将样品与对照样品注射器垂直放置,记录实验室的温度和压力.
(3)标准曲线的绘制:用微量注射器准确抽取一定量的丙酮、丁酮(于20℃时1μl丙酮质量为0.
7898mg,丁酮的质量为0.
8061mg)注入100ml注射器中,配成一定浓度的标准气体.
取一定量的丙酮、丁酮标准气混合,用清洁空气稀释成0.
2μg/ml、0.
4μg/ml、0.
8μg/ml、2.
0μg/ml的丙酮、丁酮混合气体,分别取1ml进样,测量保留时间及峰高,每个浓度重复3次,取峰高的平均值,分别以丙酮、丁酮的含量对峰高作图,绘制标准曲线.
保留时间为定性指标.
丙酮、丁酮色谱图见图F1.
1.
图F1.
1丙酮、丁酮、环己酮色谱图(4)测定:取1ml空气样品直接进样,用保留时间定性,峰高定量.
F1.
6计算空气中丙酮浓度按式F1.
1计算:X=(C/V0)*1000…F1.
1)式中:X——空气中丙酮、丁酮的浓度,mg/m3;V0——标准状况下的样品体积,ml;C——由标准线上查出的样品中丙酮、丁酮的含量,μg.
GB—20040F1.
7说明(1)丙酮、丁酮法检测限为1*10-3μg,当丙酮浓度为400mg/m3时,其变异系数为10%.
当丁酮浓度为236mg/m3时,其变异系数为9.
0%.
(2)本法为测定丙酮、丁酮的瞬间浓度,为全面评价车间空气质量,应增加采样次数.
(3)采样后样品保存不得超过24h,不然含量有变化.
样品运送和保存期间,皆应将注射器垂直放置.
(4)配制标准气体和对照样品所用的清洁空气系指不含丙酮、丁酮或其它干扰丙酮、丁酮测定物质的空气.
(5)当采样现场共存物保留时间与丙酮、丁酮相近时,干扰丙酮、丁酮的测定,此时可通过变更色谱条件来排除.
(二)PorapakQ柱(二硫化碳解吸进样)F2.
1原理用活性炭管采集空气中丙酮,用二硫化碳解吸,经PorapakQ柱分离后,用氢焰离子化检测器检测,以保留时间定性,峰高定量.
F2.
2仪器(1)活性炭管:用长7cm,内径4mm,外径6mm玻璃管,内装两段20目~40目椰子壳活性炭,中间用玻璃棉或氨基甲酸乙酯泡沫塑料垫隔开,玻璃管二端用火熔封,可供长期保存应用.
如短时间内应用,可套上塑料帽保存.
在装管前应先将活性炭于300℃~350℃通氮气处理3h~4h,管中前段装100mg,后段装50mg活性炭.
后段活性炭外边用玻璃棉或氨基甲酸乙酯泡沫塑料固定.
前段活性炭外边则用玻璃棉固定.
(2)采样泵,0~1L/min.
(3)微量注射器,100μl,10μl,1μl.
(4)具塞试管,5ml.
(5)气相色谱仪,氢焰离子化检测器.
55ng丙酮给出的信噪比不低于31∶.
色谱柱:柱长2m、内径4mm不锈钢柱.
固定相:PorapakQ,50目~80目.
柱温:150℃.
汽化室温度:200℃.
GB—20041检测室温度:180℃.
载气(氮气):30ml/min.
F2.
3试剂(1)丙酮,色谱纯.
(2)PorapakQ担体,50~80目.
(3)二硫化碳,色谱鉴定无杂质峰.
F2.
4采样在采样地点打开活性炭管,二端孔径至少为2mm,50mg端接采样泵并垂直放置,以0.
2L/min的速度抽取2L空气.
采样后将管的二端套上塑料帽,带回实验室分析.
F2.
5分析步骤(1)对照试验:将炭管带到现场,但不采空气,与样品同时分析,作为对照.
(2)样品处理:将前段及后段活性炭分别倒入具塞试管中,加1ml二硫化碳,塞紧管塞,放置30min(或稍长)并不时振摇.
(3)标准曲线绘制:于一个25ml量瓶中,先加入少量二硫化碳,用注射器取一定量丙酮(于20℃时1μl丙酮质量为0.
7898mg)注入量瓶中,加二硫化碳至刻度,配成一定浓度的贮备液,用二硫化碳稀释,使丙酮含量为0.
40mg/ml、0.
80mg/ml、1.
60mg/ml的标准溶液,取1μl进样,测量保留时间及峰高,每个浓度重复3次,取峰高的平均值,以丙酮含量对峰高作图,绘制标准曲线,保留时间为定性指标.
丙酮色谱图见图F2.
2.
图F2.
2二硫化碳解吸丙酮色谱图GB—20042(4)测定:抽取F2.
5(2)处理后的清液,各取1μl进样以峰高定量.
F2.
6计算空气中丙酮浓度按式F2.
2计算:X=[C/(V0·D)]*1000…F2.
2)式中:X——空气中丙酮的浓度,mg/m3;V0——有标准善下的样品体积,L;C——由标准曲线上查出的样品中丙酮的含量,μg;D——解吸效率.
F2.
7说明(1)本法可测定车间空气中丙酮的平均浓度.
本法的检测限为11*10-2μg.
当浓度为0.
40mg/L、0.
80mg/L、1.
60mg/L时,其变异系数分别为4.
9%、4.
7%、3.
7%.
(2)本法的穿透容量为11.
6mg.
(3)以二硫化碳作解吸剂解吸效率平均为88.
2%.
(4)采样后在常温下,可保存7天,炭管需垂直放置.
(5)现场存在共存物与丙酮有相同的保留时间时,干扰丙酮的测定,在此情况下可改变色谱条件,予以排除.
(三)阿皮松M柱(热解吸进样)F3.
1原理用硅胶管采集空气中丙酮,热解吸后进样,经阿皮松M色谱柱分离后,用氢焰离子化检测器检测.
以保留时间定性,峰高定量.
F3.
2仪器(1)硅胶管:长15cm内径3.
5mm~4.
0mm的玻璃管,于管的一端3cm处略烧成内凹型,该处内径约2mm,用于固定玻璃棉.
内装350mg硅胶.
(2)采样泵:0~1L/min.
(3)注射器:100ml,1ml.
(4)微量注射器:1微升.
(5)热解吸装置:热解吸装置主要由加热器,控温器,测温表及气体流量控制器等部件组GB—20043成,解吸气体为氮气,控温范围100~350℃,流量控制范围为50~100ml/min.
所用热解吸装置的结构应使硅胶管能方便地插入加热器中,并使通过管中气体先经预热,硅胶受热均匀.
(6)气相色谱仪:氢焰离子化检测器,0.
0018微克丙酮给出的信噪比不低于51∶.
色谱柱:柱长2m,内径4mm,不锈钢柱.
阿皮松M:6201担体=10100∶柱温:120℃检测室温度:150℃汽化室温度:150℃载气(氮气):110ml/minF3.
3试剂(1)丙酮(色谱纯或分析纯).
(2)硅胶,20~40目.
(3)阿皮松M,色谱固定液.
(4)6201担体,40~60目.
F3.
4采样在采样地点除去采样管两端塑料帽,后端接采样泵,并垂直放置,以100ml/min的速度抽取0.
1~2L空气,采样后将管的两端套上塑料帽,带回实验室分析.
F3.
5分析步骤(1)对照试验:用未采过样品的硅胶管F3.
2(1)按照样品的处理F3.
5(2)步骤处理,作为空白对照.
(2)样品处理:去掉样品管两端塑料帽,将其与100ml注射器相连,放于热解吸装置上,用氮气以100ml/min的速度于250℃下解吸至100ml.
(3)准曲线的绘制:用微量注射器取一定量的丙酮(于20℃时1l丙酮重0.
7898mg)注入100ml注射器中用清洁空气稀释,分别配成0.
02、0.
04、0.
06微克/ml丙酮标准气体,取1ml进样,每个浓度重复3次,取峰高平均值,以丙酮的含量对峰高作图绘制标准曲线.
色谱图见图F3.
3.
(4)测定:取1ml解吸气进样,用保留时间定性,峰高定量.
GB—20044图F3.
3丙酮色谱图F3.
6计算空气中丙酮浓度按式F3.
3计算:X=(C/V0)*1000…F3.
3)式中:X——空气中丙酮的浓度,mg/m3;C——由标准曲线查出的解吸气中丙酮含量,μg;V0——标准状况下的样品体积,L.
F3.
7说明(1)当直接进样1ml空气样品时,方法检测限1.
8*10-3μg(1.
8mg/m3),测定范围1.
8~80mg/m3.
丙酮浓度在0.
02μg/ml和0.
06μg/ml时,各经6次测定,其变异系数分别为4.
3%和5.
1%.
本法解吸效率大于90%.
(2)湿度在90%以上时,用200mg/m3及4000mg/m3的丙酮标准气,以0.
15L/min的速度通过硅胶管,进行穿透试验,其穿透容量分别为0.
31mg/100mg及6.
14mg/100mg硅胶.
(3)含16μg丙酮标准气样通过硅胶管,于室温下保存15天,其平均回收率为94.
2%.
(4)硅胶管能吸附多种有机蒸气,采样后应尽快用塑料帽将管的两端套紧,防止污染.
(5)丁酮、环己酮对测定不干扰.
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