联系我们:www.semishare.com

ProductdescriptionProductdescription页1概述一款基于高校教育与实验室的高配置晶圆测试探针台H系列是一款高端配置综合型手动测试探针台,独有的气控式卡盘移动技术、灵活的UPStart模块化结构设计、增强性防震系统,这些都是SEMISHARE在行业先进的技术创新.
无论现在和将来,当客户测试需求提高或发生改变时,随时可重新配置升级,真正实现一机多应用,全面满足客户多种测试应用需要,该设备非常适合于研发中心和各大高校实验室的一步性预算购置投入.
应用适用于对微纳器件进行科研分析,检测等用途.
快速对晶圆上芯片的电路进行分析测试电学参数、产品性能做判断,筛选出不合格芯片,以便进一步提高产品良率.
设备亦可搭载射频特性测试和升级搭载光纤光谱特性测试.
根据测试样品分类晶圆测试根据应用分类射频测试LED测试高温环境测试功率器件测试低电流(100fA级)测试MEMS测试I-v/c-v/p-iv测试PCB测试高压,大电流测试液晶面板测试磁场环境测试太阳能电池片测试辐射环境测试材料表面电阻率测试/`Productdescription产品结构介绍页2H系列一种适合企业/研究所/高校实验室测试分析用多功能探针台显微镜龙门支架+X-Y平移台拱形桥梁式结构,结构稳定,刚性好显微镜平移台,可调节显微镜在X-Y平面2"*2"范围内移动,移动精度1μm显微镜兼容金相显微镜/单筒视频显微镜,搭配高倍/高分辨率物镜可实现微米/亚微米级的观测LED同轴/环形照明,高对比度,可加载激光器进行失效分析/激光切割三段式升降针座平台Z向微调升降最大行程40mm,移动精度2μm,适合探针卡/直流排针测试2档快速升降调节功能,一档快速升降行程0-300μm,一档快速升降行程0-3mm,可是探针或探针卡快速脱离样品表面卡盘X/Y轴为无间隙移动,每旋转一圈行进为1mm卡盘的旋转角度:360度卡盘可微调旋转角度,调节精度0.
002°U型针座平台更大的针座加载空间加厚级合金钢材质,刚性好,紧固稳定.
全新表面处理工艺,相比镀铬工艺针座吸附力更强,提高测试精度.
可安装探针卡夹具,兼容探针卡测试CCD相机C/CS接口高清CCD/CMOS相机,200万/500万/1200像素可选,分辨率达到1920*1080及以上具备SD卡接口,可存储图片或视频带HDMI视频线缆,可连接显示屏实时观察卡盘吸附通道控制开关集中布置,独立控制不同通道吸附孔卡盘采用中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品,每个真空通道均独立控制,卡盘电学独立悬空,带香蕉头插口,可作为背电极使用可选配多孔吸附普通载片台(Chuck)或高低温载片台系统,同轴/三轴/镀金卡盘可供选择可搭配不同精度/行程针座,磁力吸附和真空吸附可选卡盘快速/微调升降快速升降行程3mm,适合探针快速脱离样品表面微调升降行程10mm,微调升降精度2μm快速拖出机构和气浮移动控制快速拖出机构设计,大行程达180mm,便于快速更换样品,使用针卡测试时保护样品表面不受损伤采用气浮移动方式,在有效行程内,可单手控制载片台沿X-Y平面实现快速定位显微镜气动快速升降行程50mm,一键快速操作,便于快更换显微镜和探针卡夹具卡盘精调X-Y移动载片台包含千分尺精细调节功能,大微分头设计,手感极佳左侧微分头为载片台Y轴,右侧微分头为载片台X轴,精调移动行程范围:25mm*25mm,移动精度:1μm微调升降行程10mm,微调升降精度2μm联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页3产品核心亮点>灵活的UPStart模块化设计人体工程学设计,操作简单入手快,减少设备培训使用时间;设备支持后期扩展升级;一机多应用,可实现多种晶圆测量应用、LD/LED/PD测试、PCB/封装器件测试、芯片内部线路/电极/PAD测试、射频、高频、高压/大电流测试等;>气控式卡盘移动技术(ChuckAirbearingmoveTM)气控式移动平台具备快速移动卡盘功能,满足高效手动测试需要.
通过对应的气浮开关,提供3种快速移动方式:单手控制X/Y方向快速移动,双手控制样品台全平面快速移动.
高效的晶圆测试,要求既能轻松快速的移动拉出样品台装载晶圆,又能在X/Y方向对单个DIE进行精准定位测试.
传统的滚珠/轴承式样品台仅能实现X/Y轴单向运动,而且移动速度较慢;普通的气浮式样品台虽然能够实现样品台全平面快速移动,却不能实现X/Y轴单向精准移动定位,满足生产实测需要.
而气控式样品台完美的结合并实现了以上两种功能.
>三段式升降针座平台针座平台升降:快速(0,300um,3mm)+微调(40mm,移动分辨率2~5um),Platen所有部分能够同时升降(不存在不同时的现象),升起回落后探针在pad上针痕的x,y,z三个方向的重复性优于±1um,重复(1μm)的针座平台有三个独立位置,用于接触,分离(300μm)和装载(3mm),并带有安全锁装置,可防止探头或晶圆意外损坏的同时,实现准确的接触定位,实现最准确的测量效果,该功能在高频与大功率测试中至为重要.
联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页4>大手柄微分头驱动卡盘移动平台配有粗调与精调功能,精调旋钮采用业界顶级的日本Mitutoyo大手柄驱动微分头,相比于传统的小型微分头调节,操作手感更舒适、调节更顺畅且无回程差,真正实现超顺滑的手动高效测试,全面提升测试效率,节约客户测试成本.
>加厚级刚性金属结构框架坚固的机械框架结构设计是提升产品稳定性的重要因素之一,使之通过高度稳定的性能实现更准确的测量结果,SEMISHARE任何一款产品的框架包括(显微镜桥架,针座平台,针座平台支撑立柱,底座等)材质均采用加厚级铝复合刚性材料,相比于同类品牌的成本投入更高,而正是这些微小的选材细节却反应出SEMISHARE对于产品品质的高度重视.
>显微镜气控式升降调节显微镜采用气控式调节可实现50mm升降,通过高品质阀门控制,高压空气进出节流精细调节,实现显微镜平稳的升降,实现方便更换物镜的同时,更好的防护物镜与夹具在测试中的意外接触损伤.
>可加载激光器多波段激光切割系统能够加载在绝大多数应用于失效分析的显微镜上,可以实现围观层面的精确切割和选择性材质去除.
精密可靠的先进激光传输系统(ABDS)可以选择不同波段应对不同材料裁剪和切割工作.
镭射最大输出能量≥2.
7mJ,能量可调整级数≥300.
水循环冷却结构使系统更小巧和无需维护.
>基于UPStart模块的TMCS产品定制无论您是科研院校、研究所、芯片设计公司、晶圆厂、封测厂、面板厂等客户,我们都能根据您的需求,全面出色的为您提供定制化的开发解决方案.
基于UPStart模块结构下,客户可根据需求增加和更改配置,关于TMCS定制化服务内容请进入www.
semishare.
com了解更多.
联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页5产品参数型号H6H8H12外形(长宽高)820mm*720mm*890mm960mm*850mm*900mm1300mm*920mm*920mm重量170KG约230KG约300KG电力需求220VC,50~60Hz样品台尺寸6英寸,可360度旋转8英寸,可360度旋转12英寸,可360度旋转行程X-Y行程6*6英寸X-Y行程8*8英寸X-Y行程12英寸*12英寸移动精度1um样品固定方式真空吸附背电极测试功能有,样品台电学独立悬空针座平台规格最多可放置6个针座最多可放置10个针座最多可放置12个针座行程&调节方式平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um光学特性显微镜行程X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.
8mm显微镜移动精度1um切换镜头方式显微镜快速倾仰30度放大倍数20~4000X镜头规格目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X,100X(选配)CCD像素50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)点针规格X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm机械精度10微米/2微米/0.
7微米/0.
1微米漏电精度10pA/100fA(配置屏蔽箱时)接口形式香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口可选激光微加工屏蔽箱有源探头探针卡夹具转接头低电流/电容测试显微镜暗场/DIC/Normarski检测光强/波长测试接口部件镀金卡盘兼容积分球测试选件液晶热点侦测套装同轴叁轴卡盘光纤夹具耦合测试选件高压/大电流测试套装高低温样品台封装器件夹具加热台光强/波长测试选件PCB/封装夹具测试选件高低温样品台射频测试特殊定制联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页6产品核心部件介绍1、PSM1000工业显微镜(标配)全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,造型新颖,使用方便,并具有丰富的扩展功能,可以广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域.
人机工程头部PSM-1000E双目观察头可以在3-30转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适.
管镜PSM-1000的管镜转盘上装有1XNUV、1XNIR和2X管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便.
其中1XNUV对355nm和532nm波长进行了优化,1XNIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率.
光路切换拉杆通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换.
当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器.
偏光观察主体上留有偏光插孔,插上偏光(选配件),可进行偏光观察.
联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页7调焦机构PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠.
调焦机构最大可承载45磅(20.
4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作转换器PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中.
物镜PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量.
关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本.
照明系统采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源.
长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间.
激光装置PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片.
无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上.
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册.
联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页82、CCD系统规格:符合国际视频1080P标准,分辨率达到1920*1080图像采样帧率:60fps/秒高速图像摄取.
绝无拖影、延时现象全新的彩色算法,确保图像颜色真实再现;8:8:8--24bits真彩色图像;HDMI纯数字高清输出,支持16:9显示;色彩可独立调节,特有的多级宽动态(HDR)功能;具有十字中心线,可移动线功能叠加功能;具备边缘增强模式.
提升特殊图像效果;参数:2.
75(H)μm*2.
75(V)μm1/2.
5英寸1920*10808:8:824位真彩色60fpsHDMI纯数字输出OSD菜单调节SD卡3级宽动态可调3级边缘增强功能手动/自动一键白平衡R、G、B分别可调C-MountDC-5V61mm*61mm*72mm20%~80%0~80°C270g联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页92、探针台配件-提供4款不同精度的探针座选项搭配SS-700亚微米电路/射频测试针座规格X-Y-Z方向行程:8x8x8mm;运动方式:线性移动;丝杠精度:700Thread/Inch;移动精度:0.
1微米尺寸:148mm长*120mm宽*140mm高重量:1500克特点亚微米工艺集成电路电路测试线性移动,无后座力可以配合同轴/三轴探针夹具使用夹具可以30度范围倾仰可以使用钨探针可以配置为东/南/西/北四个方向的射频针座射频测试能力:直流40GHz~120GHz可以配合使用校准片和校准软件探头接口和线缆45度连接,无需L型转接头探头可以拆卸维修带射频测试线固定装置SS-100亚微米电路/射频测试针座规格X-Y-Z方向行程:12x12x12mm;运动方式:线性移动;丝杠精度:40Thread/Inch;移动精度:0.
7微米尺寸:115mm长*100mm宽*112mm高;重1000克左右特点亚微米工艺集成电路电路测试线性,无后座力移动可以配合同轴/三轴探针夹具使用夹具可以30度范围倾仰可以使用钨探针可以配置为东/南/西/北四个方向的射频针座射频测试能力:直流到40GHz~120GHz可以配合使用校准片和校准软件探头接口和线缆45度连接,无需L型转接头探头可以拆卸维修带射频测试线固定装置联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页10SS-40-T电路/射频测试针座规格X-Y-Z方向行程/12x12x12mm;运动方式:线性移动;丝杠精度:40Thread/Inch移动精度:2微米尺寸:64mm长*47mm宽*66mm高;重200克左右特点线性移动I/OPad点测电路点测射频测试较小的体积可以配合同轴使用SS-40光电测试针座规格X-Y-Z方向行程/12x12x12mm;运动方式:线性移动;丝杠精度:40Thread/Inch移动精度:2微米尺寸:64mm长*47mm宽*66mm高;重200克左右特点线性移动I/OPad点测Electro-Optics电路点测射频测试较小的体积可以配合同轴使用联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页113、探针夹具-提供4种不同夹具选项SEMISHARETriaxialTipHolderT2H三轴接口夹具Leakage100FAWithConditionofShieldingBox配合屏蔽箱漏电精度能达100FACablelengthis2meters线长2米Installationkits:slottypescrewdriver安装探针用一字螺丝刀SEMISHARECoaxial(male)TipHolderC2H同轴(公)接口夹具MaximumLeakage10PA漏电精度能达10PACablelengthis2meters线长2米Installationkits:slottypescrewdriver安装探针用一字螺丝刀SEMISHARELshapeTriaxialTipHolderT2LL型三轴接口夹具Leakage100FAWithConditionofShieldingBox配合屏蔽箱漏电精度能达100FACablelengthis2meters线长2米Installationkits:slottypescrewdriver安装探针用一字螺丝刀SEMISHARELshapeCoaxial(male)TipHolderC2LL型同轴(公)接口夹具MaximumLeakage10PA漏电精度能达10PACablelengthis2meters线长2米Installationkits:slottypescrewdriver安装探针用一字螺丝刀联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页124、探针-提供多种规格的GGB探针>T-4系列软针-适用于集成电路内部线路点针T-4系列软针较多的应用于点测集成电路的线路,电极,或者FIB(聚焦离子束)制作的mini电极.
T-4系列软针的结构采用不同直径钨材质针须焊接于镀锡的铜材质针杆上.
其中T-4-10和T-4-22两款是客户反馈比较有优势的型号,因为其针须直径较细,具有良好的弯曲弹性,能够极大的减少对芯片电极的损害,在部分震动环境下面也能够保证和电极的良好接触.
T-4软针不建议在敏感节点使用,因为会产生电容负载的问题,在此环境下,建议使用高阻抗Picoprobes系列探针.
>ST系列硬针-适用于集成电路电极点针ST系列硬针是0.
020inch(0.
51mm)直径钨材质针杆经过精密电化学加工成为不同的针尖直径,长度为1.
5inch(38.
1mm)的探针.
这种探针应用与绝大多数的芯片电极点测和线路点测.
ST系列硬针可以用于与刮擦或者刺穿芯片表面钝化层.
该探针可以选择表面镀镍,如果选择镀镍则型号后面增加"NP".
ST系列硬针型号针杆直径针尖直径ST-20-0.
50.
020"(0.
51mm)开尔文探针灵活的低电流设计,易于更换同轴探头.
探头支架配有双SSMC连接器,允许半导体测试所需的各种测试测量.
第二SSMC连接器为感应电压或电流、保护、接地、终止和LCR四线测量提供了一个容易接近的点.
设计与一个行业标准的形式因素,可以很容易地改装到几乎任何探针站或自定义应用程序.
可更换的50欧姆同轴探头具有钨芯,其电化学腐蚀半径从0.
5um到20um不等,可选范围为50微米.
可更换的探头也可以定制形状和弯曲度,以满足任何定制的要求.
可以订购和配置用于屏蔽、接地、保护、串联电阻、端子、高压和高频的各种和选项.
1)特点非常低的电流设计到小于10fA.
双SSMC连接用于SMU和LCR的准开尔文连接.
可更换同轴探头设计,便于更换损坏的探头或更换不同半径尺寸的探头.
2)应用包括低电流(SMU)(规格电压:AC220V流量:7L/min真空度:-60KPa质量:0.
7Kg>功能提供真空动力源.
配合CHUCK上的真空吸附孔来固定样品.
配合真空吸附型探针座,固定探针座.
>特点无油静音,特别适合实验室和洁净室使用.
7升/分钟,可24小时无间断运转.
联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页146、气浮式自动平衡防震桌防震系统采用空气弹簧式支撑架的防震平台.
台面采用10CR17优质高导磁不锈钢加工的蜂窝状支撑结构.
通过空气弹簧的形状、材质、弹簧室的容积及补助罐容积、阻尼孔径和水平调节阀等一系列减震设计,实现该系统垂直本征频率为1.
5Hz,水平本征频率为1.
2Hz的低频固有频率,承重达400Kg的优异承载能力.
从而有效避免细微低频率频带的振动给测试带来的不利影响.
>规格尺寸:L*W*H(1200*900*800mm)承重:800kg>防震效果最小承重@20psi最大承重@80psi垂直本征频率2.
2Hz垂直本征频率2.
5Hz防震效率@1.
8Hz70%防震效率@2.
0Hz85%防震效率@2.
2Hz90%防震效率@2.
5Hz97%水平本振频率2.
2Hz水平本振频率2.
5Hz防震效率@1.
8Hz64%防震效率@2.
0Hz91%防震效率@2.
2Hz90%防震效率@2.
5Hz97%联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页157、可升级搭载>屏蔽箱SEMISHARE参数特点尺寸:900mm宽x1000mm长x1000mm高屏蔽光线和电磁干扰.
匹配探针台和防震桌设计.
与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa,可抗2000V高压.
屏蔽箱上配备转接头,便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接.
亦可根据客户需求定制.
>样品变温台规格:4,6,8,12英寸直径,1英寸厚度尺寸:控制器350mm长x300mm宽x150mm高特点:低噪声,低压直流电驱动隔离套装实现PA级电信测试精度双路水循环,隔绝水循环保护chuck底座可以在绝大多数探针台上加装易于装卸联系我们:www.
semishare.
comProductdescriptionProductdescription页16产品服务解决方案咨询服务SEMISHARE经验丰富的技术专家会在售前根据您的应用需求,提供给您专业的测试系统和解决方案搭建的建议,帮助您快速寻找到满意的解决方案.
保固期服务森美协尔的所有产品均经过严格的出厂检测,同时我们也为您提供专业的保固期服务.
技术培训为了让您更好的了解您所购买SEMISHARE的产品,让我们的产品为您带来更多的应用需求帮助,因此我们可根据您的具体需要提供定制化、系统化的技术技能培训.
如果您有这方面的需要,也可以在网站中提交申请或电话联系我们.
产品升级服务我们的技术为您提供产品增值性服务,当您的测试需求有变更时,SEMISHARE可以提供硬件与软件的升级服务,让您以较少的投入获得更大的价值.
服务承诺SEMISHARE承诺快速响应您的需求,只要您通过网站、电话、邮件等任何方式与我们取得联系,我们将会重视您的每一个需求.
在线支持:通过专业FAE技术团队支持7*24h响应客户.
现场支持:1)深圳市内客户,售后服务人员应在4小时内赶到客户现场2)广东省内客户,售后服务人员应在24小时之内赶到客户现场3)广东省外客户,售后服务人员应在48小时之内赶到客户现场Thisinformationissubjecttochangewithoutnotice.
SEMISHARETechnologies,2020-2022,PublishedinCN,June9,2020,V11CN无论您在哪一个地方,均可以方便的联系到我们或者我们的合作伙伴.
售后服务电话:0755-26906952转813邮箱:service@semishare.
com客户投诉电话:0755-26906952转808邮箱:alvin@semishare.
com