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浙江icp  时间:2021-04-16  阅读:()
浙江大学微纳中心程志渊浙江大学微纳中心主任信电学院微纳电子所所长浙江大学微纳中心6个学院/学科:信电,光电,电气,物理,材料,机械超净间面积:1200平方米现有实验室:400平方米,用户:超过100个新建实验室:800平方米完整的微纳加工能力:各种热工艺,深亚微米光刻、湿法/干法刻蚀、半导体/金属薄膜沉积等集成电路、微纳电子器件、微机电系统、功率器件及电能变换、量子通讯、柔性/可穿戴电子、生物芯片、太阳能光伏、石墨烯及二维材料器件等设计效果图现有超净间:400平米1.
5微米图型加工能力金属薄膜沉积、氧化物薄膜沉积、硅基薄膜沉积和刻蚀,但缺乏高洁净度工艺,1微米以下图型加工能力,化合物半导体,非金属薄膜加工能力等.
现有设备工艺能力基础微纳加工工艺定位准入衬底类型:Si,Ge,SOI,SiC,玻璃,Sapphire,铁电,压电,陶瓷,聚合物禁入:生物活体,剧毒品现有设备光刻,刻蚀,成膜,热处理,形貌观察,IV特性测试柔性电子/MEMS/生物芯片/光波导/无源光器件/基础光电/二维材料及器件新建超净间:800平米深亚微米光刻、电子束直写、纳米压印、非金属薄膜工艺、金属/化合物刻蚀、量子超导器件工艺、CMOS前端工艺、Ⅲ-V薄膜生长等热氧化、退火、扩散、RTP、外延、EBL、光刻机、纳米压印、溅射、镀膜、RIE、CVD、ALD、ICP、FIB、等基础能力.
微纳中心的用户群信电系(12个课题组)1材料系(10个课题组)2机械系(3个课题组)3光电系(2个课题组)4航空航天(2个课题组)5化工系(2个课题组)6物理系(2个课题组)7生仪系(1个课题组)8高分子(1个课题组)9北京大学(1个课题组)10拟购置设备:ICP设备信息:型号/品牌:SENTECHSI500尺寸:约1350*2230*2000(mm)最大功率:约21KW拟购置设备:Stepper设备信息:型号/品牌:NikonNSR1755I7A尺寸:1800*1500*2300(mm)最大功率:约2KW拟购置设备:E-beamWriter设备信息:型号/品牌:JEOLJBX-6300FS/Raith尺寸:约2100*1200*2100(mm)最大功率:约3KW拟购置设备:LPCVD设备信息:型号/品牌:SVCSSVFUR-ALH2尺寸:3900*2088*2856(mm)最大功率:约45KW拟购置设备:Sputter设备信息:型号/品牌:Lesker尺寸:约2500*1500*1500(mm)最大功率:约7KW拟购置设备:RIE设备信息:型号/品牌:OxfordPlasmalab400尺寸:760*1830*1700(mm)最大功率:约22KW

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lcloud怎么样?lcloud零云,UOVZ新开的子站,现在沪港iplc KVM VPS有端午节优惠,年付双倍流量,200Mbps带宽,性价比高。100Mbps带宽,500GB月流量,10个,512MB内存,优惠后月付70元,年付700元。另有国内独立服务器租用,泉州、佛山、成都、德阳、雅安独立服务器低至400元/月起!点击进入:lcloud官方网站地址lcloud零云优惠码:优惠码:bMVbR...

DiyVM(50元起)老牌商家,香港沙田CN2直连vps/不限流量/五折终身优惠

diyvm怎么样?diyvm是一家国内成立时间比较久的主机商家了,大约在6年前站长曾经用过他家的美国机房的套餐,非常稳定,适合做站,目前商家正在针对香港沙田机房的VPS进行促销,给的是五折优惠,续费同价,香港沙田机房走的是CN2直连的线路,到大陆地区的速度非常好,DiyVM商家采用小带宽不限流量的形式,带宽2Mbps起步,做站完全够用,有需要的朋友可以入手。diyvm优惠码:五折优惠码:OFF50...

华纳云E5处理器16G内存100Mbps688元/月

近日华纳云商家正式上线了美国服务器产品,这次美国机房上线的产品包括美国云服务器、美国独立服务器、美国高防御服务器以及美国高防云服务器等产品,新产品上线华纳云推出了史上优惠力度最高的特价优惠活动,美国云服务器低至3折,1核心1G内存5Mbps带宽低至24元/月,20G ddos高防御服务器低至688元/月,年付周期再送2个月、两年送4个月、三年送6个月,终身续费同价,有需要的朋友可以关注一下。华纳云...

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